Kleines PV-Lexikon - Begriff

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EFG-Verfahren

Bei dem EFG-Verfahren werden aus flüssigem Reinstsilizium achteckige Röhren mit einer geringen Wandstärke von ca. 280 μm und einer Länge von 6-7 m Länge gezogen, deren Kantenlänge 10 bis 12 cm beträgt. Aus diesen werden 10×10 cm² große Wafer geschnitten. Durch diese Methode kommt es zu einem geringen Sägeverlust. Das EFG-Verfahren heißt übersetzt ins Deutsche „kantendefiniertes Filmwachstum“.